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プロツールの基礎知識ココミテVol3

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アルバック　【都度見積】真空蒸着用電子銃　ＥＧＫ－３Ｍ用　２．９ｃｃ×４点式　 Vacuum Deposition Electron Gun

（株）アルバック技術相談窓口050-1720-5136

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品番210004010200
発注コード691-2390
発注単位1台
入数-

特長

容量2.6ccハースの採用により、小規模生産に適しています。
電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない。
昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴掘現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができる。
（日本国特許831485、843447号所有）
電子ビームは225°偏向するため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

用途

電子ビーム蒸着用蒸発源用。
イオンプレーティング用蒸発源用。
蒸着ロールコータ用蒸発源用。

商品スペック

仕様・規格	最大加速電圧：-10kV 最大エミッション電流：0.5A 幅(mm)：140 奥行(mm)：207 高さ(mm)：126 タイプ：真空蒸着用電子銃電子ビーム偏向角度：225° るつぼ数：4個るつぼ容量：2.9cc るつぼ寸法：21φ×17.5φ×10mm 冷却水量(ハース)：8L/min以上冷却水量(その他)：1L/min以上蒸着速度：0.6μm/min以上(Al/5kwハース直状250H)
材質	-
質量・質量単位	5ｋｇ
使用条件	-
セット内容・付属品	-
生産国	日本
小箱入数	1台
大箱入数 help 大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。	-
修理	-
環境	-
規格	RoHS2

商品アイコンについて

オプション品

アルバック　真空蒸着用電子銃パーツ　ＥＧＫ－３Ｍ用ハース　３ｃｃ×４点　

品番210004014200
発注コード681-4236