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アルバック 成膜用DC電源 DC-2-D 入出力ケーブル付き  DC Power Supply for Film Formation

(株)アルバック 技術相談窓口050-1720-5136

オレンジブック価格(税抜) 1,544,000
取寄品

メーカー希望小売価格(税抜) ¥1,544,000

  • 軒先渡し
  • 品番210007138500
  • 発注コード681-4232
  • 発注単位1台
  • 入数1台(1台)

特長

  • 定格1~100%の領域で設定値の±1%の高精度出力保証しています。
  • 軽量・省スペース設計です。
  • プラズマを熟知した出力制御です。
  • 強制空冷方式のため冷却水が不要です。
  • 優れたARC機能と高速ARC処理回路を搭載しています。

用途

  • FPD用スパッタリング装置用。
  • 半導体用スパッタリング装置用。
  • 電子部品用スパッタリング装置用。
  • R&D向けスパッタリング装置用。
  • 産業コーティング用スパッタリング装置用。
  • 各種成膜装置のバイアス電源。

商品スペック

仕様・規格

タイプ:成膜用DC電源
入力電圧:AC200V/220V(三相)
入力周波数(Hz):50/60Hz
制御方式:アナログ/デジタル、RS-232C
規格:RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応
定格出力電力(W):2000
幅(mm):241
奥行(mm):610
高さ(mm):133
定格出力電圧(V):800
出力電流(A):5
入力電源設備容量(kVA):3.5
定格出力電流(A):5

材質

-

質量・質量単位

15kg

使用条件

海抜1000m以下
直射日光、熱、埃、振動、腐食性ガスを避ける事
屋内(クリーンルーム推奨)
温度:5℃~40℃(結露なきこと)
湿度:35%~85%RH

セット内容・付属品

入力ケーブル:DC-2/4-IN 4m
出力ケーブル:DC-2/4-OUT 5m

生産国 日本
小箱入数 1台
大箱入数
help

大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。

-
修理
  • 修理可能
環境
    -
規格
  • CE
  • RoHS2

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アルバック 成膜用DC電源 DC-2-D 入出力ケーブル付き 

品番
210007138500
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アルバック 成膜用DC電源 DC-2-D 入出力ケーブル付き 

品番
210007138500
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アルバック 成膜用DC電源 DC-2-D 入出力ケーブル付き 

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