アルバック　成膜用ＲＦ電源　ＲＭＧ－１３０３　ＲＦ電源システム　 RF Power Supply for Film Formation

タイプ：成膜用RF電源
入力電圧(V)：AC100V/220V（単層）
入力周波数(Hz)：50/60Hz
入力側電源設備容量(kVA)：0.7kVA
定格出力電力(W)：300W
出力側周波数(kHz)：13.56MHz
定格電圧(Vpp/Vdc)：VPP/VDC：2500Vpp/2500Vdc
定格電流(A)：10A
制御方式：アナログ/デジタル、RS-232C
規格：RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応
幅(mm)：200mm
奥行(mm)：350mm
高さ(mm)：200mm

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10ｋｇ

標高2000m以下
直射日光、熱、埃、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと。
屋内（クリーンルーム推奨）
温度：10℃～40℃（但し風通しの良いところに設置、結露なきこと）
湿度：15%～85%RH

表示パネル：RFP-N
入力ケーブル：AC01-R-JP_5m
電源-表示パネル間ケーブル：CONT-N_4m

• 修理可能

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• CE
• RoHS2