本多電子 流水式超音波発振器
本多電子（株）
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- 品番W-357-1.5MPG
- 発注コード470-0448
- 発注単位1台
- 入数-
特長
- 石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄します。
- 石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
- 半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現します。
- 薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
- 振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。
- 冷却することで急激な温度変化がなく長寿命になります。
商品スペック
| 仕様・規格 |
発振モード 単周波発振 |
|---|---|
| 材質 |
- |
| 質量・質量単位 |
2.2ｇ |
| 使用条件 |
- |
| セット内容・付属品 |
電源コード（AC100Ｖ／2m又はAC200V／3mから選択) |
| 生産国 |
日本 |
| 小箱入数 | 1台 |
| 大箱入数
help
大箱入数とは、小箱に収納した状態で、大箱に箱詰めしている数量です。 |
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| 修理 |
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| 環境 |
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| 規格 |
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本多電子 流水式超音波発振器
- 品番
- W-357-1.5MPG
本多電子 流水式超音波発振器
- 品番
- W-357-1.5MPG
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